兩面觀察測量顯微鏡
品牌:日本UNION
型號:DCM-40/60
DCM-40/60是一款設計獨特的顯微鏡,可分別或同時觀察物體的表面和底面圖像,并對兩圖像進行比較,還可以通過測量裝置測量兩圖像(表面和底面)的偏差??蛇x的物鏡有五種,放大倍率從50X~100X。測量精度可達1μm。
DCM-40/60主要應用于微電子行業(yè),特別是在半導體行業(yè)。產品上下面尺寸有偏移時就可以直接對比測量,減少其它間接測量方式的誤差且不會損壞產品。例如:晶圓劃片基準印字偏移,柔性線路板線路間距,陶瓷電容片切割對位和IC框架邊緣質量等應用。
規(guī)格:
型號
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DCM-40
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DCM-60
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物鏡
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5X, 10X, 20X ,40x, 100X
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5X, 10X, 20X ,40x, 100X
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工作臺
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50X50mm ~100X100mm
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150X150mm
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光源
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150W鹵素燈2套
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150W鹵素燈2套
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工件厚度
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20mm
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30mm
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選配件
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照相系統(tǒng)、TV系統(tǒng)
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測量步驟:
1.將"光路選擇開關"旋轉到"Top& Bottom"位置,調整上、下物體的光軸至重合。
2.將工件置于工作臺上。旋轉"光路選擇開關"到"Top" 位置,對焦上表面. .
3.旋轉“光路選擇開關"到"Bottom” 位置, 對焦下表面。.
4.將“光路選擇開關"旋轉到"Top &Bottom"位置,測量兩圖像的位置偏差。
設備: